洁净室性能衡量因素之气流介绍

洁净室内的洁净度会受到气流的影响，通俗来讲，洁净工程中的设备、人员等产生的微粒子出现移动或扩散都是由气流造成。

洁净室过滤是采用HEPAEA或是ULPA的方式，将污染物进行过滤，一般可达到99%的过滤效果。我们都知道，洁净工程的洁净区对洁净度的要求十分严格，一旦出现污染，工艺或是产品的质量都会受到影响。也就是说，   因室内的设备、使用材料、工作人员等产生微粒子等污染后会迅速影响整个洁净区。所以，为了保证室内洁净度，必须利用气流将污染物排出室外。

洁净工程对气流速度的有着很严格的要求，美克威尔就以洁净室为例，为大家详细介绍。

对于乱流式洁净室减少室内污染主要是通过空气的稀释作用来完成的，因此，一般不用速度而是用换气数来说的。但是，对洁净室洁净工程中的气流速度也是有要求：

1.和单纯空调房间相比，送风口的出口处气流不要太大。

2.吹过水平面的气流速度不宜太大，以免吹起表面微粒重返气流，而造成再污染，这一速度一般不宜大干0.2m/s。

洁净工程中净化效果的如何，要看每步流程是否达标，只有全方面考虑到，才能达到预期的效果。

风速的控制

洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素，一般洁净室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以最适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。

另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上很困难。

垂直层流式方向要保持均一气流必须：(a)吹出面的风速不可有速度上的差异；(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。

影响因素

影响洁净室的气流因素很多，如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。

一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。

洁净室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少最低；组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。

由此可见，洁净工程中气流是衡量洁净室性能的重要因素之一，建设企业控制好气流是关键。