前言：此文总结归纳出影响洁净车间建设造价主要的十大影响变量（因素），提供可供选性的设计方案动态数据，对基本的净化车间设计和标准进行优化，从而满足业主的需求，通过此类方式我们可做到按需设计，合理规划，达到减少项目的工程费用（更具实用价值性价比洁净室工程）。

第一、换气次数

费用因素变量：-0.08至0.19

洁净车间内的空气分配设备（通常是吊顶过滤器）被设计成“喷淋式”，用来提供统一的、洁净的已过滤的空气。向房间补给的空气量，让人想起与普通的淋浴喷头相反的消防龙头。美国联邦标准209E、日本标准JIS B9920和ISO 标准14644-1的标题是：洁净室外和相关控制环境——第一部分：清洁空气的分级。这些标准提供了洁净室参数、分级和检测方法的指导方针，但并未说明如何经济有效地达到要求。这是因为每种生产过程和洁净室外的要求是不同的，因此，可以采用不同的再循环空气量，达到预期的环境要求。

至少有五种不同的“可能”设计能够达到预期的结果，然而只有一种设计是最佳方案。为项目寻找最佳和最经济的解决方案，是洁净室外换气项目的最基本的目标理念。

房间内污染物的比率和实际微粒产生情况，是影响洁净室空气换气次数的主要因素。在生产过程中，不对其他因素产生任何影响的情况下，清除微粒的速度是非常重要的。其他可能影响再循环空气数量的因素是：房间的结构、设备的位置、设备表面温度、空气对流、气流类型（单向通过敏感区或者通过全空间）、操作空间和规章、使用的材料和化学药品等。

洁净车间可能需要在静态下进行鉴定，在工况下进行鉴定，对生产过程进行确认或者cGMP认证。由综合服务管理部制定的联邦标准209（e），建议100或90fpm。然而有可能建立一个空气流动速度较低，但比100级洁净度更高的洁净室。实际上，已经有洁净室的空气流动速度是45cfm/平方英尺。

第二、单向的、紊流的、垂直或水平气流

费用因素变量：-0.073至0.18

在许多案例中，单向气流只在小空间和净化车间的敏感区域内使用，并且使用微环境。污染物的源头可能存在于手套箱、过滤模块等地方。多数设计为整体单向气流洁净室外的方案，只有在这些区域中没有操作者、生产设备和排风装置时才能实现单向气流。垂直或水平气流的选择，取决于房间的结构和设备的安放位置，紊流就可以将污染物带走。

洁净室内的架空地板是用来掩盖工具、设备与动力设备之间的电线、通讯电缆、水电、管道的连接的。后来，为了节约成本，在“bay-and-chase”式的洁净室结构中，这些架空地板被当作从港湾到夹层的回内通道。在完全单向气流的洁净室内，人们希望微粒从工作区域流到带小孔的地板下。我们已经成功的建立了10级和100级的洁净室，在这些洁净室内没有架空地板，采用墙下部回风系统，而且洁净室的气流被设计成紊流。另个一种办法是用薄的空气喷射装置隔离超清洁区域，这种空气喷射的速度是每分钟500到800英尺。它的功能类似于塑料门帘。

第三、空气过滤系统

费用因素变量：-0.032至0.10

采用未端HEPA过滤器对空气进行过滤，0.3到0.5微米的去除效率为99.99%,0.12微米的去除效率为99.999%;若使用ULPA过滤器，0.12微米的去除效率为99.99995%。

根据洁净室外的用途，也可以选择其他的设备，例如，在循环风加新风处理系统中，使用HEPA过滤器用碳吸附或相似功能的合成过滤器处理VOC，静电过滤箱，等等。

在洁净车间市场上，风机过滤不再是新产品，正确的应用它可以为许多高水平洁净室提供卓越的、经济的解决方案，尤其是在吊顶高度有限的建筑内。已证明降低成本和减小过滤器的压降（在洁净室寿命期内，使用低等级过滤器，长时间采用高压降方式运转，所带来的效益并不总是十分明显）。

第四、空气处理器

费用因素变量：-0.07至0.15

新风处理空调箱[Make-up AHU s]。典型的新风处理空调箱（初级AHU s）为循环风空调箱（二级AHU s）提供必需的新风。新风由离心排风机、轴流或plug风机加上过滤器、预热和再热用热水盘管、冷却和除湿使用的冷冻水盘管、蒸汽和绝热加湿器等组成。附件和差异包括静电空气混合器、蒸汽预热盘管、超声波加湿器、盐水、除湿用的直接交换[Dx]或乙二醇低温冷冻盘管、VOC吸附过滤器、噪声衰减器，VFP（变频）驱动等。

新风处理空调箱通道是将空气注入集管，再通过支管系统给循环风空调箱提供新风。在初级和二级风管上进行空气测量，并调节送风机、VFD或进口风阀以便恒定风量。Magnahelic讲量器临测安装在各个空调箱内HEPA过滤器布袋过滤器和预过滤器的荷载。有吊顶风机过滤器的情况下，新风处理空调箱出来的空气进入循环风空调箱再送出。

循环风空调箱（Recirculation AHU s）。典型的循环风空调箱由高效离心式风机、过滤器和湿热（干）冷盘管组成。附加和差异包括用于局部温度控制的再热盘管、用于局部湿度控制的蒸汽或超声波加湿器、风量恒定控制箱。这种采用Whisper-Air and Compac Space 风机系统的方式提供了一种节约成本和充分使用能源的选择。

多重循环风空调箱通过送风管，再经过ULPA过滤器或HEPA过滤器，将空气送入洁净室，在洁净度等级为10级和1级的洁净间的吊顶上，这些过滤器通常是100%覆盖。垂直单向气流向下通过洁净间，穿过带孔的架空地板砖进入地板下面的回风空间，再通过垂直回风夹道向上进入吊顶回风静压箱。然后 ，空气再次进入循环风空调箱，以上的空气循环再次重复。如果是使用吊顶风机过滤器，在风机过滤器上面的吊顶空间时，可以安装水或直接交换冷却[DX-cooled]风机盘管实现表面冷却。

第五、空气压差

费用因素变量：-0.041至0.08

洁净室增压是必须的，它的作用是确保洁净室远离其临近区域的污染，控制有害污染物的流向，防止不同区域间的交叉污染，并帮助保持所要求的温度和湿度水平。

洁净室与相关走廊、设施内的其他区域的压差应维持在0.25到0.005英寸水柱（in.w.g.）之间。一般制药企业所要求的压差值比这更高，在不同区域之间采用层叠压差来避免交叉污染。在不同的区域间安装一系列的层叠式气闸和允许空气快速扩散的正压门，从而产生压差。好的微电子洁净室设计中，通常在洁净室的入口安装一个半密封的气闸来使压差保持在0.02到0。005in.w.g.之间。更衣间和穿衣间用气闸分离。入口入的机械风淋相对于它的必要性而言，更是设施文化和洁净室的原则问题。

许多微电子和光刻洁净室成功地采用被动气压控制，只有在大门全部打开的情况下，入口处的风量维持在每分钟50到100英尺。一些生物制药企业要求主动压差控制，采用补充新风的方式，自动补足通过门泄漏的空气（当门打开时）。

第六、温度控制

费用因素变量：-0.0321至 0.15

温度和湿度的变化能够引起生产设备的误差，从而影响生产过程的可重复性，最终导致产品合格率降低、增加浪费。因此，洁净室对温度严格控制要求是显而易见的，这项费用是必须的。

通常情况下，要求工程师在设计时降低施工费用，同时要求在很大区域内对温度进行精确的控制，允许的温度变化范围在±4到6华氏度之间（例如使用卷帘门的仓库）。在没有硬墙和气闸装置时，这将是十分苛刻的要求，并且实际上无法控制湿度的变化。人们通常认为洁净室外的洁净度、温度、湿度和气压等项目的层叠性是非常容易达到的，并且很容易维持，但需要仔细的评估这些项目的误差范围。

如果对洁净室内的暖通、动力专业装置和控制系统有严格要求，例如洁净室的温度控制要求为正负0.1华氏度所用花费，可能比基准点为70华氏度，±2.0度（即标准要求68到72华氏度）的高出20%到50%。

在每个洁净室区域内，有局部自动调温器来控制设计温度。它能驱动安装在风管上的局部再热或再冷盘管工作，来满足房间内的湿热的要求。如果使用风机盘管装置，局部自动调温器控制本区域内盘管出口空气的温度。

第七、温度控制

费用因素变量：-0.034至0.19

每个洁净车间内的相对湿度，通过局部湿度调节器来进行控制。如果窨内的相对湿度较高，恒湿器通过降低冷冻盘管流出空气的温度来加强除湿。同时，再热盘管提供热量来保持窨的温度。任何一个洁净间的相对湿度超出了设计范围，局部恒湿器将启动安装在风管上的局部湿度调节器。当必须满足精确的湿度控制时，通常利用空调箱中的新风的绝热增湿效果来实现，并通过洁净室的结露点来维持。

湿度水平的局部变动可以通过超声波湿度调节器进行控制，该调节器位于最终过滤前的风管静压箱内。用水水质为RO/DI，水电阴率在3到5mgm之间。如果相对湿度低于设计范围，恒湿器将启动湿度调节器来增加新风的水分含量。如果相对湿度较高，恒湿器将降低新风控制冷冻盘管流出空气的露点温度，从而加强除湿效果。

第八、排风系统

费用因素变量：-0.031至0.16

典型的工艺排风系统包括：酸、溶剂和VOC、毒性物质、热和一般的房间排风。如果废气中有氨气出现，一些厂家会选择使用分开的风管系统和处理系统。使用最多、最普遍的酸消除方法，是水平或垂直气体洗涤塔。溶剂和VOC的去除通常运用就地或当场高温破坏的方法。需要认真选择支队的方式及必须支队的废气流量。

优质的空气处理设备能够将废气量降至最低，因此，在实施过程中可降低工程费用和能源浪费。保持排风量增加的潜在需求、扩大生产和安装这些备用品所需的经济价值之间的平衡是十分重要的。通常情况下，考虑到洁净室将来的扩展，当其它动力设备和暖通、动力专业系统（例如新风和冷却）不能满足这种扩充的需求时，超大的昂贵的、不锈钢衬里的或FRP排风系统就已经建立了。没有考虑将来的

需求而建立的酸排队系统也是十分普遍的。增加风量和新的风管支管，，就会使风管系统中的风速超过每分钟4000英尺。这样的系统保持平衡是十分困难的或不可能的，并且运行的费用昂贵。

第九、振动和噪声控制

费用因素变量：-0.027至0.10

设备的大小和重量影响振动的传播及控制。洁净室地板下面的“华夫（waffle）”混凝土板层，能够很好地避免将设备的振动传送到其他生产区域或度量衡工具上。即使为了安装管道而在洁净室的地面上钻洞，Waffle混凝土板层仍能保持其风性。因为地板的强度在于它的栅格系统，并可进行重新整理。因此可在地板上冲压额外的孔洞，而不会对振动因素有任何副作用。

所有的暖通、动力专业设备应使用弹簧、软件接和隔离安装等隔绝振动的方式，将振动效应降到最低。低噪音的节能风机和马达，可以用来维持洁净室NC水平。振动和噪声方面的专家应是评估小组的成员，他们来领袖用于振动和噪声方面的专家应是评估小组的成员，他们来核实用于振动和噪声控制中的机械和建筑学原理。完工后的再处理可能是十分昂贵的。如果建筑师、暖通、动力专业工程师、业主和顾问从设计的开始就考虑这些因素，可以免去许多潜在的昂贵的检测，或用更经济的办法取代。

第十、磁通量和电磁通量

费用因素变量：0.037至0.15

磁通量被认为是银河系中海洋微粒背景的流量。银河系的放置也被认为是自然界的电磁循环。“通量”这个词代表流量，我们可以认为磁力线就象某种液体流动的路线那样穿过一个假想的表面。磁场的大小代表流动的速度，它的方向就是流动的方向。磁通量就是流过这个表面的所有的容量。为了更好地理解，我们可以认为磁通量就是穿过这个表面的磁力线的数量。

对于给定的速度，当微粒移动的方向垂直于磁场方向时，磁力是最大的，当与磁场方向平等运动时，磁场力为零。

在大多数基本水平，移动电荷之间的相互作用产生磁力，就象静电产生于导电电荷与其他导电电荷（不论他们是否运动）之间的相互作用。

通过对行星的拍照研究表明，由于地球的放置和它熔化的金属内核使得它有一个强大的磁场。磁通量的密度（替代“牛顿的每安培米”）有它自己的单位---特斯拉。地球表面的磁场近似代表值是二分之一高斯，大约是200,000特斯拉。在对公众开放的区域内，职业安全和健康要求磁场强度不能大于5个高斯。

洁净室的磁场防护是十分昂贵的。例如，洁净车间使用4到5毫米厚的磁性（铁--硅）钢板（M15型）作为屏蔽材料仍不能满足要求。当前的半导体、度量衡和通讯实验室区域内要求磁通量的强度限制在0.05高斯或更低。