无尘车间等级划分,无尘车间等级怎么划分,无尘车间分为哪些等级?怎么划分无尘车间等级,无尘车间等级标准。
新接触无尘车间的朋友可能对应无尘车间的等级不清楚,这里美克威尔就为新接触无尘车间的朋友介绍下无尘车间等级的划分,希望对各位朋友有所帮助!
无尘车间即净化车间,净化车间,亦称为无尘室或洁净室。它是污染控制的基础。没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
所谓的无尘车间是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路技术的快速成长,也增加了对制造环境(无尘车间)洁静度的需求,在工业上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。 由于奈米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断的增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘车间为集成电路制造不可或缺的要素。建设无尘车间
无尘车间等级划分:
依据美国政府颁布的标准,可将无尘车间分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级:
1级:这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的精确要求为亚微米。
10级:这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。
100级:很多人认为,这一级无尘车间是最常用因而是最重要的无尘车间,人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求,100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等,这一洁净室大量应用于,植如体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗,比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。
1000级:这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。
10000级:万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。
100000级:十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医、药工业也常常使用这一级无尘车间。了解更多无尘车间等级情况
解释:目前各半导体加工和面板组装厂的无尘室等级大都为1000级和100级的居多,级数越低洁净度就越高,质量越好。如果无尘车间的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸为0.5µm,例如,1级、10级、100级东莞无尘车间最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗,如果尘粒尺寸不是0.5µm,无尘车间等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2µm(尘粒尺寸在0.2µm或更大下,密度不大于75颗/立方英?),1级在0.1µm(尘粒尺寸在0.1µm或更大下,密度不大于35颗/立方英?)。而集成电路制造所需的无尘车间之洁净度必须优于1000级。
无尘车间的使用要求:
保持无尘车间的洁净度,进出的人员有一定的穿著规定;10000与100000级,必须穿著长袍无尘衣、无尘鞋、带帽子与面罩;1000级(含)以上,需穿著特殊的洁净连身衣、无尘鞋将全身裹住,并带上手套和面罩。
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