洁净室净化空态、静态、动态检测标准

术语：

在洁净厂房设计规范中GB50073-2001中给洁净室的三种状态做了以下定义：

空态 as-built洁净室测试

设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。

静态 at-rest

设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及工艺商同意的状态下运行，但无生产人员。

动态 operational

设施已规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。

在ISO14644中规定将洁净室检测阶段划分如下：

空态洁净室的检测——Installation qualificafion(IQ)

静态洁净室的检测——Operational qualificafion(OQ)

动态洁净室的检测——Performance qualificafion(PQ)

空态洁净室的检测(IQ)

检查空态洁净室和安装的设备是否符合设计，至少要检查下列各点：

1、洁净室设备的成套性；

2、一切能源载体和工艺介质的供应（水、电、蒸汽、压缩空气、气体等）是否符合设计；