净化工程洁净技术发展概述

净化工程洁净技术是一个新的科学技术领域，是一门跨专业、跨部门、跨学科的综合性的新兴分支学科。它即与很多行业、很多学科有着千丝万缕的联系，又有自己独特的特点。我们必须善于借鉴、吸收各个行业、各个学科的已有成果、经验和长处。善于根据自己的特点，充分发挥和积极调动各方面的科学技术人员的作用。

与其他高科技一样，净化工程技术的诞生及最初应用是服务于军事目的的，第二次世界大战中一些枪炮、战车、飞机等使用的仪器合格率或经常发生故障。研制者认识到，仪器生产与装配环境空气中的悬浮颗粒物是罪魁祸首，于是工业洁净室诞生了。最初的工业洁净室是比较简陋的，随着原子武器研究和生化武器研究的发展，在20世纪40年代初高效空气过滤器研制成功并得到应用，20世纪60年代初又出现“单向流”洁净室，这些设备与技术的诞生成为洁净技术发展的里程碑，奠定了现代洁净技术的基础。

起初洁净工程洁净标准是由美国制定的，也是应用最广泛的，单位为英制。每立方英尺空气中≥0.5μm尘粒的最大允许粒子数。另一种为国际单位，表示时为每立方米空气中≥0.5μm尘粒的最大允许粒子数的常用对数值。

现代工业洁净室虽然仍以悬浮颗粒物为主要控制对象，但在某些工艺过程中对空气中分子态污染物（AMC）也提出了控制要求。因此，空气净化技术的关键设备也从单一的粒过滤器发展到可以吸附有害气态物质的化学过滤器器。

微电子行业是现代工业洁净室应用的代表。主要产品是大规模集成电路和平板显示器。半个多世纪以来，集成电路得到迅猛发展，随着集成度的增加，元件中的线宽不断缩小，因此对空气悬浮颗粒物的控制粒径也越来越小，一般认为控制粒径应当是线宽的1/10~1/3，但由于线宽越来越小，这一要求也难以达到了。微电子产品的迅速发展对传统的洁净技术提出了极大的挑战，同时也促进了现代洁净技术的发展。 工业洁净室以空气中的悬浮颗粒物为主要控制对象，主要为精密机械和电子产品等行业提供符合要求的生产环境。

六十年代初是中国洁净技术发展的起步阶段，大致比国外晚了十年。在中国，那是一个非常特殊的困难年代，一方面刚度过三年自然灾害，经济基础薄弱，另一方面与世界科技先进国家没有直接交往，得不到必要的科技数据、信息和样品。在这种艰难条件下，围绕精密机械、航空仪表和电子工业的需要，中国的洁净技术工作者开始了自己的创业历程。